為應(yīng)對(duì)先進(jìn)半導(dǎo)體制造對(duì)關(guān)鍵材料的要求，推動(dòng)檢測(cè)技術(shù)創(chuàng)新與產(chǎn)業(yè)鏈自主可控，2026年1月15日，由珀金埃爾默企業(yè)管理（上海）有限公司聯(lián)合上海市計(jì)量測(cè)試技術(shù)研究院有限公司(上海市電子化學(xué)品計(jì)量檢測(cè)技術(shù)專(zhuān)業(yè)服務(wù)平臺(tái))、集成電路材料創(chuàng)新聯(lián)合體主辦的 “半導(dǎo)體電子特氣發(fā)展趨勢(shì)與檢測(cè)技術(shù)創(chuàng)新交流會(huì)” 在上海浦東新區(qū)成功召開(kāi)。會(huì)議匯聚了產(chǎn)業(yè)鏈上下游企業(yè)及研究機(jī)構(gòu)的70余位專(zhuān)家代表，圍繞電子特氣的技術(shù)挑戰(zhàn)、創(chuàng)新檢測(cè)方案與國(guó)產(chǎn)化發(fā)展路徑進(jìn)行了深度研討與思想碰撞。
凝聚共識(shí)，展望合作
會(huì)議伊始，珀金埃爾默大中華區(qū)分析與解決方案銷(xiāo)售負(fù)責(zé)人 華長(zhǎng)春 先生致歡迎辭：
他強(qiáng)調(diào)了分析檢測(cè)技術(shù)在保障半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)安全中的基石作用，并介紹了珀金埃爾默在核心儀器國(guó)產(chǎn)化方面的持續(xù)投入與最新進(jìn)展，表達(dá)了深耕中國(guó)市場(chǎng)、服務(wù)本土產(chǎn)業(yè)創(chuàng)新的決心。
隨后上海市計(jì)量測(cè)試技術(shù)研究院有限公司總經(jīng)理助理、科技信息處處長(zhǎng)，全國(guó)氣體標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(huì)委員 陳鷹 正高級(jí)工程師代表主辦方致辭。
他指出，本次會(huì)議旨在搭建高水平的產(chǎn)學(xué)研用對(duì)話平臺(tái)，聚焦電子化學(xué)品計(jì)量檢測(cè)等關(guān)鍵環(huán)節(jié)，凝聚行業(yè)智慧，共同應(yīng)對(duì)挑戰(zhàn)，并與產(chǎn)業(yè)伙伴攜手推動(dòng)高質(zhì)量發(fā)展。
專(zhuān)題報(bào)告：洞見(jiàn)挑戰(zhàn)、方案與未來(lái)
創(chuàng)新方案：
全流程質(zhì)控與技術(shù)突破
珀金埃爾默半導(dǎo)體項(xiàng)目負(fù)責(zé)人 黃清發(fā) 在《珀金埃爾默電子特氣檢測(cè)方案及國(guó)產(chǎn)化進(jìn)程》報(bào)告中，系統(tǒng)介紹了從原料檢驗(yàn)(IQC)、過(guò)程監(jiān)控(IPQC)到成品檢測(cè)(FQC)的全流程質(zhì)量控制解決方案。該方案核心涵蓋了氣相色譜儀(GC)、氣相色譜-質(zhì)譜聯(lián)用儀(GC-MS)、傅里葉變換紅外光譜儀(FTIR)、紫外分光光度計(jì)(UV)及電感耦合等離子體質(zhì)譜儀(ICP-MS)等先進(jìn)儀器，可精準(zhǔn)分析各類(lèi)電子特氣中的痕量雜質(zhì)。
報(bào)告特別重點(diǎn)介紹了創(chuàng)新的氣體直接進(jìn)樣-ICPMS（GDI-ICPMS）技術(shù)。珀金埃爾默外聘專(zhuān)家 Tommy Lee 在《GDI-ICPMS氣體分析方案》報(bào)告中，通過(guò)詳實(shí)的數(shù)據(jù)對(duì)比和應(yīng)用案例(包括在韓國(guó)市場(chǎng)的成熟應(yīng)用)，充分展示了該技術(shù)相比傳統(tǒng)鼓泡吸收法的優(yōu)勢(shì)：直接進(jìn)樣、無(wú)前處理污染、分析前處理時(shí)間僅需約5分鐘、接近100%的金屬雜質(zhì)回收率、以及低于0.1 ppt的超高靈敏度。GDI-ICPMS技術(shù)為半導(dǎo)體制造中金屬雜質(zhì)的精準(zhǔn)、快速、安全監(jiān)控提供了強(qiáng)大的支持。
產(chǎn)業(yè)圖景：國(guó)產(chǎn)化進(jìn)程的
“三維突破”與理性思考
上海集成電路材料研究院有限公司材料研發(fā)實(shí)驗(yàn)室總監(jiān) 孫猛 博士在《電子特氣國(guó)產(chǎn)化進(jìn)程評(píng)估：技術(shù)、產(chǎn)能與市場(chǎng)格局的三維突破》報(bào)告中，全面評(píng)估了國(guó)產(chǎn)電子特氣產(chǎn)業(yè)的進(jìn)展。他指出，當(dāng)前國(guó)內(nèi)產(chǎn)業(yè)已在技術(shù)、產(chǎn)能、市場(chǎng)三個(gè)維度實(shí)現(xiàn)顯著突破：
1 技術(shù)面
產(chǎn)品純度穩(wěn)定達(dá)到6N并向更高水平邁進(jìn)，部分關(guān)鍵技術(shù)實(shí)現(xiàn)自主。
2 產(chǎn)能面
總產(chǎn)能快速增長(zhǎng)，形成了長(zhǎng)三角、珠三角等區(qū)域性產(chǎn)業(yè)集群。
3 市場(chǎng)面
格局已從外資壟斷演變?yōu)橹型飧?jìng)合，本土企業(yè)在頭部晶圓廠的滲透率持續(xù)提升。
同時(shí)，孫猛博士也提醒行業(yè)需保持理性，關(guān)注部分品種可能出現(xiàn)的產(chǎn)能規(guī)劃過(guò)剩風(fēng)險(xiǎn)，未來(lái)應(yīng)加強(qiáng)核心技術(shù)攻堅(jiān)、產(chǎn)業(yè)鏈協(xié)同優(yōu)化和市場(chǎng)理性布局。
核心挑戰(zhàn)：先進(jìn)制程驅(qū)動(dòng)檢測(cè)邁入“ppt時(shí)代”
上海市計(jì)量測(cè)試技術(shù)研究院有限公司材質(zhì)中心高級(jí)工程師 魏王慧 在其報(bào)告《半導(dǎo)體發(fā)展進(jìn)程下電子氣體分析技術(shù)要求與測(cè)試方法》中明確指出，隨著制程節(jié)點(diǎn)邁向3nm及以下，半導(dǎo)體制造對(duì)電子氣體的純度要求已攀升至9N(99.9999999%)級(jí)，對(duì)痕量雜質(zhì)(水分、金屬離子、顆粒物、酸堿污染物等)的檢測(cè)靈敏度需求達(dá)到ppb(十億分之一)至ppt(萬(wàn)億分之一)級(jí)別。她系統(tǒng)闡述了當(dāng)前分析技術(shù)面臨的瓶頸，并指出未來(lái)將朝著更高精度、智能化自動(dòng)化、多功能集成與模塊化、綠色安全以及標(biāo)準(zhǔn)國(guó)際化與國(guó)產(chǎn)自主創(chuàng)新的方向發(fā)展。魏王慧高工介紹，其所在的實(shí)驗(yàn)室已具備覆蓋各類(lèi)氣體的CMA/CNAS全項(xiàng)檢測(cè)資質(zhì)，是國(guó)內(nèi)檢測(cè)能力較全的專(zhuān)業(yè)氣體分析實(shí)驗(yàn)室之一，為產(chǎn)業(yè)提供了有力的技術(shù)支撐。
圓桌論道：碰撞思維，共探前路
在圓桌論壇環(huán)節(jié)，孫猛博士、魏王慧高工與特邀專(zhuān)家湯劍波、宛志文以及Tommy Lee同臺(tái)，圍繞 “國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體電子特氣的市場(chǎng)前景”、“國(guó)產(chǎn)化進(jìn)程的深化路徑”、“標(biāo)準(zhǔn)化體系建設(shè)”以及“韓國(guó)電子特氣市場(chǎng)及技術(shù)趨勢(shì)” 等熱點(diǎn)議題展開(kāi)了深入討論。現(xiàn)場(chǎng)交流熱烈，專(zhuān)家們的真知灼見(jiàn)為行業(yè)發(fā)展提供了多元視角和前瞻思考。
扎根中國(guó)：珀金埃爾默的國(guó)產(chǎn)化實(shí)踐與承諾
作為行業(yè)的重要參與者與本次會(huì)議的支持方，珀金埃爾默以實(shí)際行動(dòng)踐行對(duì)中國(guó)市場(chǎng)的承諾。位于蘇州太倉(cāng)的制造與供應(yīng)鏈中心自2017年投產(chǎn)以來(lái)，已成功實(shí)現(xiàn)了包括原子吸收光譜儀（AAS）、氣相色譜儀（GC）、紫外可見(jiàn)分光光度計(jì)（UV）、電感耦合等離子體質(zhì)譜儀（ICP-MS）等多條核心產(chǎn)品線的本土化生產(chǎn)。通過(guò)持續(xù)構(gòu)建穩(wěn)定可靠的本地化供應(yīng)鏈體系，并在生產(chǎn)全過(guò)程恪守ISO9001國(guó)際質(zhì)量體系，珀金埃爾默確保了“中國(guó)制造”擁有“世界一流”的品質(zhì)，致力于以更快的響應(yīng)速度和更優(yōu)的服務(wù)，為中國(guó)半導(dǎo)體材料產(chǎn)業(yè)的高質(zhì)量發(fā)展與供應(yīng)鏈自主可控提供堅(jiān)實(shí)的技術(shù)保障。
本次交流會(huì)的成功舉辦，不僅為產(chǎn)業(yè)鏈各方提供了寶貴的知識(shí)分享與經(jīng)驗(yàn)交流平臺(tái)，更明晰了在先進(jìn)制程牽引下，電子特氣檢測(cè)技術(shù)創(chuàng)新與產(chǎn)業(yè)協(xié)同發(fā)展的方向。珀金埃爾默期待與更多合作伙伴攜手，以持續(xù)的技術(shù)創(chuàng)新和深入的產(chǎn)業(yè)協(xié)作，共同應(yīng)對(duì)挑戰(zhàn)，把握時(shí)代機(jī)遇，為中國(guó)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的核心材料自主化與長(zhǎng)遠(yuǎn)發(fā)展貢獻(xiàn)專(zhuān)業(yè)力量。
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